循環經濟

光阻回收設備

此技術在國內某知名光電已普遍應用於TFT-LCD彩色濾光片 (Color Filer)、TFT、CELL PI 等製程中使用與處理。本公司研究團隊著重在於利用光阻(PI) 組成之特性，將其化學之特性，進行分析後，利用本公司研發之專利設備，進行回收循環再應用，回收之光阻 (PI) 液與原使用之光阻液完全相同。

硫酸銨結晶乾燥

半導體廠常見的氨氮廢水，經薄膜等方式脫除後，以硫酸進行吸附。形成硫酸銨回收液，透過化工結晶乾燥技術，將其形成硫酸銨結晶，達到廠內廢棄物回收減量再利用。

貴金屬回收設備

製程廢水若含有價金屬，如金、鈀、銅、鎳等，系統設計上會依據水質濃度及特性設計電解或樹脂吸附方式，回收水中有價金屬。電解原理為廢水通過電解槽，於陰極還原取得回收帶正電金屬離子；吸附原理則為採用螯合樹脂，將水中特定金屬離子去除，飽和之後進行再生，於再生液中回收高濃度有價金屬離子。

氫氟酸廢液轉製冰晶石設備

運用樹脂塔(陽塔、脫氣塔及陰塔)技術組合，配合PLC+HMI可全自動操作控制，將自來水純化至2MΩ以上純水供線上製程端使用。